晶圆盒垫纸应该具备以下特点：
1.耐高温性能： 晶圆盒垫纸需要能够承受高温环境，以保护晶圆在生产和加工过程中不受热损伤。
2.表面平整度： 垫纸的表面应该平整，没有明显的凹凸或皱纹，以确保晶圆的平稳支撑，避免因垫纸表面不平而对晶圆造成损坏。
3.无尘无毛： 垫纸表面应该无尘无毛，以防止灰尘或纤维进入晶圆盒内部，影响晶圆的质量和生产效率。
4.吸湿性： 垫纸应具有一定的吸湿性能，可以吸收晶圆表面的湿气，防止晶圆因潮湿而受损。
5.良好的弹性和抗压性： 垫纸需要具有一定的弹性和抗压性，能够有效缓冲晶圆的振动和冲击，保护晶圆的完整性。
6.符合相关标准： 合格的晶圆盒垫纸应符合相关的行业标准和规范，如电子行业的防静电标准等。

7.环保性： 优质的晶圆盒垫纸应该是环保的，符合相关的环保标准和法规要求。

合格的晶圆盒垫纸应该具备耐高温、表面平整、无尘无毛、吸湿性好、弹性和抗压性强、符合相关标准和环保要求等特点。